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发布时间:2021-11-11 18:12:37
什么是高纯气体?
改革开放以来,随着我国高新技术的快速发展,计算机工业对大规模集成电路与液晶显示器的需求量增加;也可以采用微小振动或使钢瓶上下运动的方法加快钢瓶内的气体混合均匀。随着新型能源的发展,我国大力开拓了多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产;此外,新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件也过的迅猛发展,上述高新产品的生产中,都需要大量高纯气体,以制造出性能可靠的各种器件。什么是高纯气体?半导体集成电路所需要的高纯气体主要分为两大类:1、普通气体:也叫大宗气体,主要有:H2、N2、O2、Ar、He等。2、特种气体:主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体等。电子气体的特点
电子气体(Elect ron ic gases) :半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4 _6 m+ p- _4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。事实上,用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、L S I (大规模集成电路) 级、VL S I (超大规模集成电路) 级和UL S I (特大规模集成电路)级。免责声明:以上信息由会员自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责,产品网对此不承担任何责任。产品网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷, 纠纷由您自行协商解决。
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